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产品、工序 |
洁净度等级 |
控制粒径（μm） |
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半导体材料 |
拉单晶 |
6-8 |
0.5 |
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切、磨、抛 |
5-7 |
0.3-0.5 |
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清洗 |
4-6 |
0.3-0.5 |
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外延 |
4-6 |
0.3-0.5 |
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芯片制造 |
氧化、扩散、清洗、 刻蚀、薄膜、离子注入、CMP |
2-5 |
0.1-0.5 |
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光刻 |
1-5 |
0.1-0.3 |
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检测 |
3-6 |
0.2-0.5 |
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设备区 |
6-8 |
0.3-0.5 |
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封装 |
划片、键合 |
5-7 |
0.3-0.5 |
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封装 |
6-8 |
0.3-0.5 |
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TFT-LCD （液晶平板显示器） |
阵列板（薄膜、光刻、刻蚀、剥离） |
2-5 |
0.2-0.3 |
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成盒（涂复、摩擦、液晶注入、切割、磨边） |
3-6 |
0.2-0.3 |
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模块 |
4-6 |
0.3-0.5 |
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彩膜板 |
2-5 |
0.2-0.3 |
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STN-LCD |
6-7（局部5级） |
0.3-0.5 |
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HDD（硬盘驱动器） |
制造区 |
3-4 |
0.1-0.3 |
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其他区 |
6-7 |
0.3-0.5 |
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PDP（等离子显示屏） |
核心区 |
6-7 |
0.5 |
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支持区 |
7-8 |
0.5 |
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锂电池 |
干工艺 |
6-7 |
0.5 |
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其他区 |
7-8 |
0.5 |
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彩色显像管 |
涂屏、电子枪装配、 荧光粉 |
6-7 |
0.5 |
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锥石墨涂覆、荫罩装配 |
8 |
0.5 |
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表面处理 |
5-7 |
0.5 |
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电子仪器、微型计算机装配 |
8 |
（0.5） |
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高密磁带制造 |
6-8（局部5级） |
（0.5） |
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印制版的照相、制版、干膜 |
7-8 |
（0.5） |
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光导纤维 |
预制棒 |
6-7 |
0.3-0.5 |
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拉丝 |
5-7 |
0.3-0.5 |
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光盘制造 |
6-8 |
0.3-0.5 |
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磁头生产 |
核心区 |
5 |
0.3 |
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清洗区 |
6 |
0.3 |
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片式陶瓷电容、片式电阻等制造 |
丝印、流延 |
8 |
0.5 |
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声表面波器件制造 |
镀膜、清洗、划片、封帽 |
6 |
0.5 |
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